ASML与客户合作开发大尺寸掩膜版 ASML正与客户合作开发适用于下一代High-NA EUV光刻设备的更大尺寸掩膜版。这一合作聚焦于调整掩膜版尺寸，以适应更先进的芯片制造需求。 合作对象包括多家半导体行业领先企业，开发内容围绕High-NA EUV系统的优化展开。ASML通过这一路径推……

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